氦檢質(zhì)譜漏儀的原理 氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率(通過漏孔的氣體流量)。因此,氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺氦流量計。 檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空,來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測量進入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。萊寶氦質(zhì)譜L300i MODUL PHOENIX檢漏儀租賃
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