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ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)

采用數碼5軸控制的磁力軸承的復合翼狀渦輪分子泵。UTM-FH，UTM-FW通過數碼5軸控制磁懸軸承的采用，實現高功能·高可靠性·節(jié)約能源對應等優(yōu)勢。愛發(fā)科數碼磁力軸承型渦輪分子真空泵維修

ULVAC的渦輪分子泵，擁有適合研究·開發(fā)·生產用途等廣泛陣容的產品。根據使用目的·用途·應用可任意選擇。愛發(fā)科軸承型渦輪分子真空泵 UTM系列維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10,000-0.1Pa領域的排氣速度。愛發(fā)科羅茨真空泵PMC-040C PMC-060C維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領域的排氣速度。 PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導體、液晶制造使用設計的羅茨泵。可以選擇大氣驅動型。愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修