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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱: 日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修
產(chǎn)品時間: 2019-02-10
產(chǎn)品型號: CRYO-U4H
產(chǎn)品特點(diǎn): 特點(diǎn)輕量、緊湊,在標(biāo)準(zhǔn)品種尺寸小。適用於實(shí)驗(yàn)室研究室的小型真空設(shè)備中。特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。可以多臺運(yùn)行(大3臺)。可以達(dá)到超高真空(10-8Pa以下)。日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修

日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修 的詳細(xì)介紹

標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [4型]
CRYO-U4H

vap

 

特點(diǎn)

  • 輕量、緊湊,在標(biāo)準(zhǔn)品種尺寸小。
  • 適用於實(shí)驗(yàn)室研究室的小型真空設(shè)備中。
  • 特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。
  • 可以多臺運(yùn)行(大3臺)。
  • 可以達(dá)到超高真空(10-8Pa以下)。
  • 日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修?

外形尺寸 (單位:mm)

    標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修?

    排気速度(20℃)氮?dú)?/td>L/s750
    氫氣1,100
    氬氣620
    2,100
    到達(dá)圧力Pa(Torr)10-7(10-9)
    大流量氬氣Pa?L/s(Torr?L/s)1.1×103(7.9)
    氫氣1.1×102(0.8)
    排氣容量氬氣Pa?L(Torr?L)5.6×107(4.2×105)
    氫氣3.1×105(2.3×103)
    冷卻下降時間 (電力循環(huán))min(Hz)80/70(50/60)
    吸氣口法蘭UVG-150,UFC-203
    壓縮機(jī)C10, C10AT, C10ES
    質(zhì)量Kg19

    *維護(hù)間隔:16,000小時

    蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟日本愛發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)

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